X荧光光谱仪(1)荧光元素分析受限于标样难以制备或试样的均匀性，多数只能做为一种品质的管控方法，准确度相对化学分析较低。 (2)素分析中的检量线法就是以标准物质为基础进行标准曲线分析，如果实际样品和标准物质不一致，那么分析结果肯定也不会很准确，只能做参考。 (3)用基本参数法测试金属时，果测试样品里含有 C、H、O 等轻元素，会出现误差，因为仪器无法识别这些元素。
X荧光光谱仪(1)应明确理解，荧光分析存在干扰的元素有很多，每一种需要测试的元素都会受到其它某些元素的影响。 如铅分析过程中常出现干扰，分析过程中常出现锗和铼干扰。 (2) 常见干扰[经验] Cd:Br/Pb/Sn/Sb Pb:Br/As Hg:Br/Pb/Fe/Ca Cr:Cl Br:/Fe/Pb (3) 同时使用两条以上的特征线进行测分析。例如 Pb，需要选取 PbLa 和 PbLb 这两条谱线进行测试和判断。
X荧光光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。