分子泵是依靠大量叶片旋转,将动能传给气体分子,是气体分子获得动能,来达到抽真空效果。只能在高真空下才能正常工作,正常启动需要真空度达到5Pa以下。
泵的极限压力高于102Pa的真空泵归于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
分子泵的工作区间是有限制的,Z大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果