高纯氮可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
高纯氮也作为食品保鲜保护气体的用途。在化工行业,氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。
做冷冻剂,高纯氮可使粮食不霉烂、不发芽,长期保存。液氮还可用作深度冷冻剂。