高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。液氩
超纯氩气是一种惰性气体，在常温下与其它物质均不发生化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，故在焊接有色金属时更能显示其优越性，超纯氩气是一种单原子气体，在高温下，超纯氩气直接离解为正离子和电子，因此能量损耗低，电弧燃烧稳定。液氩
高纯甲烷：甲烷纯度99.999%,氧（氩）含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。 纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.99%,,氧（氩）含量10ppm,氮含量35ppm,氢含量10ppm,水分含量15ppm。纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.9%,,氧（氩）含量50ppm,氮含量250ppm,氢含量50ppm,水分含量50ppm。液氩