分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的,请尽量不必碰触泵壳及控制板,非常是电缆,肯定不可以碰触。
分子泵排气孔喷油有两种原因所致:1、密封溶剂太大,选用的真空泵抽气速率太小。2、真空加油过量,导致真空泵在工作时真空油随排气口喷出。
分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当,电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。