高纯气体自然扩散法：将充入标准气体的钢瓶例立放在合适的位置，静止不动，靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀，但些法所需时间较长。
高纯气体的产业链主要包括四大环节：原材料和设备、气体生产制造、气体运输和存储，及下游应用。目前，设备、气体生产制造和供应大都实现了一体化。原材料和设备：原材料包括空气、工业废气、化学产品等，设备包括空分设备、储气罐等气体生产制造：包括空分气体、合成气体和特种气体；气体供应：包括现场制气/管道、大宗气体运输、气瓶等；下游应用：包括冶金、化工、电子行业等。
高纯气体的危险特性主要有燃烧性、窒息性、腐蚀性、燃爆性以及可能发生氧化、分解、聚合等产生的危险特性。