泵的维护应逐步进行。不得强行拆卸泵。还需要对拆下的泵部件进行分类和标记,以便在组装期间使用。
由于泵的高精度要求,需要在维护前仔细测试。如果没有必要,则无需拆卸,以避免维护不当这降低了精度。当然,当某些零部件的性能较差或零部件的支撑间隙可变时,需要进行调整。
真空泵在完成维修后,必须进行测试以确保泵的正常工作。这包括检查压力、流量和温度等参数,并排除可能导致故障或损坏的问题。