爱德华分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释? 原因:负载太大,系统真空度不够 解决方法:检查系统
爱德华分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决? 原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。 解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
正常使用下,为什么爱德华分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因:过热,负载大 解决措施:检查冷却系,检查系统