真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
真空泵发生卡死的原因有：弹簧损坏，使旋片受力不匀;装配不当，使某局部受力;由于进气日的滤网丢失或损坏，使外部脏物，金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。
对转子上较明显的裂纹用角向砂轮机进行打磨，将裂纹全部清理掉，并对焊口处进行磨光、打磨焊口园角，防止在焊接过程中产生应力集中，保证焊接质量。
