真空泵维修、抽不到真空泵的极限真空度其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门
选择合适的真空泵：根据设备的需要，选择合适的真空泵类型，如旋转叶片泵、干式泵等。同时，通过选择不同功率的真空泵，可以提高抽气速率，从而更有效地达到所需的真空度。
真空泵长期未工作或环境温度较低时，可能引起起动困难，这时应使真空泵的抽气口通大气，用丰转动皮带轮(不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵，可继续动电动机数次，将真空泵腔内的存油排入油箱，即可起动。若然不行，可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温，直到能动为止。