高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。高纯氧气
纯度是高纯氧气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2≥99.99化工、治金、电子工业高纯氮N2≥99.999科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别。
装运高纯氧气的钢瓶和槽车，必须符合国家制订的《危险货物运输规则》。液氨钢瓶应存放于库房或有棚的平台上；露天存放时，应以帐篷遮盖，防止阳光直射。