Agilent进口分子泵维修、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
Agilent进口分子泵冒烟，如果是泵刚刚开始运转有冒烟的现象，属于正常，如果长时间在冒烟就是不正常了。解决之道：冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的情况。检漏以后处理了，冒烟会结束。
Agilent进口分子泵喷油，说明进气口外有大量的漏点，甚至是进气口*露大气。解决之道：封住泵的进气口使泵运转，如果不喷油的话，说明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀。