分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。分子泵有三种类型:牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。
根据使用周期,真空分子泵必须定期更换泵油。通常,每半年更换一次泵油,其中,离子泵和旋片泵的更换间隔时间不超过3个月。
在实际应用中,如果发现真空分子泵磨损到一定程度时,经常出现漏油、过度振动或产生噪声的情况,需要立即停止操作并将其送至*业维修公司进行处理。