高精密气浮平台影像视觉检测装置:利用直线电机平台高定位精度及高速运转稳定度之特性,可用来执行外观之AOI检查。
高精密气浮平台包装整列作业:利用直线电机平台高定位精度之特性,可用在输送带上做整列之动作。
高精密气浮平台表面处理:利用直线电机平台可等速且稳定之移动特性,可将工件挂于滑台上浸入溶剂内,可顺利执行表面处理之作业。