Edwards进口分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决? 原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。 解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
Edwards进口分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑? 原因:冷却不良,负载太大 解决方法:检查冷却系统,检查真空系统
Edwards进口分子泵有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内? 原因:防护网裂开,前级管道裂开 解决方法:优化系统设计