敢问大家，维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。

Edwards真空分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards真空分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。