真空值是高分辨率光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
高分辨率光谱仪排气管路堵塞，火花室下部的弯头内有异物，过滤器入口端有异物。如果设备的内部有异物，将会引起排气不畅。要定期更换排气管，要更换透明的塑料管，定期对排气管路进行吹扫。
高分辨率光谱仪故障的检查： 1、检查仪器和所有附件插座都插好并接通电源。 2、保证光纤光谱仪(如果附带电源)都插好并接通，由于光纤光谱仪有不同种类，可参照每个激光器的说明书获取进一步的帮助。 3、在有两个或多个激光器的系统中，确保联锁系统设置在正确的位置上，正确的激光器被接通。 4、检查仪器的外罩处于安全的关闭状态，联锁装置正在运转。