正常使用下,为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因:过热,负载大 解决措施:检查冷却系,检查系统
Edwards进口分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源
Edwards进口分子泵有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内? 原因:防护网裂开,前级管道裂开 解决方法:优化系统设计