维修爱德华分子泵维修要注意哪些细节？有人知道吗？

当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

爱德华分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。

当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。