安捷伦进口分子泵漏水。可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。
安捷伦进口分子泵漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。
如果安捷伦进口分子泵吸入腐蚀性气体，它将腐蚀泵中的金属零件和油，并引起化学变化。 另外，吸入空气中经常含有水蒸气，这会导致真空泵油的乳化，因此需要良好的耐腐蚀性和抗乳化性。 在真空脱水过程中使用的真空泵油的乳化作用更为突出