光谱仪分析X 射线荧光分析仪的优点： (1)采样方式灵敏，如 ESI英飞思 SEA 系列配有较大检测室 ，多数试样可直接进行检测。可以减少取样带来的损耗，对于已压铸好的机械零件可以做到无损检测，而不毁坏样品。 (2)测试速率高，可以在较少时间内进行大量样品测试，分析结果可以通过计算机直接连网输出。 (3)分析速度较快。 (4)对于纯金属可采用无标样分析，精度能达分析要求。 (5)不需要实验室与操作人员，不引入其它对环境有害的物质。 X 射线荧光分析仪的缺点： (1) 关于非金属和界于金属和非金属之间的元素很难做到检测。在用基本参数法测试时，如果测试样品里含有 C、H、O 等元素，会出现误差。 (2)不能作为仲裁分析方法，检测结果不能作为根据，不能区分元素价态。 (3)对于钢铁等含有非金属元素的合金，需要代表性样品进行标准曲线绘制，分析结果的是建立在标样化学分析的基础上。 (4)标准曲线模型需求不时更新，在仪器发生变化或标准样品发生变化时，标准曲线模型也要变化。
光谱仪分析(1)荧光元素分析受限于标样难以制备或试样的均匀性，多数只能做为一种品质的管控方法，准确度相对化学分析较低。 (2)素分析中的检量线法就是以标准物质为基础进行标准曲线分析，如果实际样品和标准物质不一致，那么分析结果肯定也不会很准确，只能做参考。 (3)用基本参数法测试金属时，果测试样品里含有 C、H、O 等轻元素，会出现误差，因为仪器无法识别这些元素。
光谱仪分析(1)应明确理解，荧光分析存在干扰的元素有很多，每一种需要测试的元素都会受到其它某些元素的影响。 如铅分析过程中常出现干扰，分析过程中常出现锗和铼干扰。 (2) 常见干扰[经验] Cd:Br/Pb/Sn/Sb Pb:Br/As Hg:Br/Pb/Fe/Ca Cr:Cl Br:/Fe/Pb (3) 同时使用两条以上的特征线进行测分析。例如 Pb，需要选取 PbLa 和 PbLb 这两条谱线进行测试和判断。