吸入高纯气体的患者应迅速转移至无污染区，安置休息并保持温暖舒适。当呼吸微弱或停止时要立即进行输氧或人工呼吸。速叫医生来诊治。
高纯气体适用的范围：1、用于气体产品质量控制，2、用于仪器仪表的检定与校准，3、用于大气环境污染监测，4、用于卫生及临床化验，5、用于建筑家居环境监测，6、建立测量的溯源性，7、保证测量结果准确一致，8、进行量值的传递，9、促进测量技术和质量监督工作的发展。
高纯气体的危险特性主要有燃烧性、窒息性、腐蚀性、燃爆性以及可能发生氧化、分解、聚合等产生的危险特性。
