真空值是光纤光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
光纤光谱仪故障的检查： 1、检查仪器和所有附件插座都插好并接通电源。 2、保证光纤光谱仪(如果附带电源)都插好并接通，由于光纤光谱仪有不同种类，可参照每个激光器的说明书获取进一步的帮助。 3、在有两个或多个激光器的系统中，确保联锁系统设置在正确的位置上，正确的激光器被接通。 4、检查仪器的外罩处于安全的关闭状态，联锁装置正在运转。
死机程序错误 一般刚开始使用的光纤光谱仪如果出现这类问题的话，极有可能是通讯线接触不良。新仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对，都有可能是通讯线接触不良造成的解决的方法也很简单，只需要将此为通讯线接触不良，重新连接即可。