半导体封装设备***直线电机按结构来分可分为单边型和双边型两种。在单边结构中，定子和动子受到较大的单边磁拉力，双边结构由于双边磁拉力相互平衡，支承部摩擦较小，因此更具有灵活性。
半导体封装设备***直线电机在实际使用中，为了在整个行程之内初级与次级之间的耦合保持不变，一般要将初级与次级制造成不同长度。
半导体封装设备***直线电机当通入三相电流后，气隙中产生磁场，如果不考虑端部效应，磁场在直线方向呈正弦分布。
