打开爱德华分子泵维修之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。
爱德华分子泵维修不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵