高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。特种气体
氮气(N2)：相对分子质量较大、扩散系数小、柱效相对较高、安全、价格便宜，因此，这4种气体中常用的载气，在氢火焰离子化检测器中常用，但由于其热导系数低、灵敏度差、定量线性范围较窄，因此在热导检测器中少用。特种气体
从高纯，特种气体供应商购买氮气的气瓶必须由质量检验单位定期进行技术检查，严禁使用安全阀超期的气瓶。充装一般气体的气瓶每三年检查一次，如在使用中发生有严重腐蚀或严重损伤的，应提前进行检验。.