维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？ 帮忙解答一下

Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。

当Edwards真空分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。

打开Edwards真空分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。