Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
当Edwards真空分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
Edwards真空分子泵维修每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
