光刻胶膜厚仪的磁感应测量原理主要基于磁通量的变化来测定光刻胶膜的厚度。具体来说，这种测量原理利用了从测头经过非铁磁覆层（即光刻胶膜）而流入铁磁基体的磁通的大小来确定覆层的厚度。在实际测量过程中，测头靠近被测物体表面，产生一个磁场。当测头接触到光刻胶膜时，磁场的一部分会穿过非铁磁性的光刻胶膜，进入下方的铁磁基体。由于光刻胶膜的厚度不同，磁通量的大小也会有所变化。通过***测量磁通量的大小，就可以推算出光刻胶膜的厚度。此外，磁感应测量原理还可以测定与之对应的磁阻的大小，这也可以用来表示覆层的厚度。磁阻是磁场在物质中传播时遇到的阻力，它与物质的性质以及磁场的强度有关。因此，通过测量磁阻的大小，也可以间接地得到光刻胶膜的厚度信息。这种磁感应测量原理具有非接触、高精度、快速测量等优点，因此被广泛应用于光刻胶膜厚度的测量中。同时，随着技术的不断发展，光刻胶膜厚仪的测量精度和稳定性也在不断提高，为半导体制造等领域的发展提供了有力支持。总的来说，光刻胶膜厚仪的磁感应测量原理是一种基于磁通量变化来测定光刻胶膜厚度的有效方法，具有广泛的应用前景。