全磁分子泵是通过利用磁性材料产生的磁场来吸附和抽取气体分子,从而达到真空的目的。磁场是均匀分布的,可以产生较为稳定的真空
半磁分子泵则是通过利用磁性材料产生的非均匀磁场来吸附和抽取气体分子,与全磁分子泵相比,半磁分子泵的磁场分布不够均匀,因此真空性能略逊于全磁分子泵。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。