涡旋分子泵是在分子流状态下工作，使用机械动能气体使分子定向压缩，流动的真空泵。
泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器
长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降
