分子泵故障维修处理的方法有什么？

采用液力联轴器：采用液力联轴器也能防止泵的过载现象发生，使泵可以在高压差下工作。液力联轴器安装在泵和电动机之间，在正常工作状态下，液力联轴器由电动机端向泵传递额定力矩。

通常情况下有效粘度低，蒸汽压极低的轴承用油脂，使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心，尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。

分子泵抽真空的时间取决于许多因素，例如真空室的尺寸、所需的*终真空度、泵的类型和规格以及泵的操作方式等。一般来说，分子泵抽真空速度比较快，可以在几分钟内将真空度降到10^-6Pa以下。