Edwards二手分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源
真空度很好的情况下,Edwards二手分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池
Edwards二手分子泵有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内? 原因:防护网裂开,前级管道裂开 解决方法:优化系统设计