Edwards真空分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
打开Edwards真空分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。