维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？ 感谢回答

Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。

Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。