Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？ 有懂行的吗？

Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

当Edwards真空分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。