求帮助！维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？

Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。

Edwards真空分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。

当Edwards真空分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。