Edwards真空分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火
真空度很好的情况下，Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
Edwards真空分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ 原因：冷却不良，负载太大 解决方法：检查冷却系统，检查真空系统
