Edwards真空分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。
Edwards真空分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
Edwards真空分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵