膜厚测试仪的测量原理主要基于光学干涉原理。当一束光照射到薄膜表面时，部分光被薄膜反射，而另一部分光则穿过薄膜后再次反射。这两束光在再次相遇时会发生干涉现象。通过观察和测量这些干涉条纹的位置和数量，可以***地计算出薄膜的厚度。具体来说，膜厚测试仪采用反射式或透射式测量方式。反射式膜厚测试仪通过测量薄膜表面的反射光干涉条纹来确定薄膜厚度，而透射式膜厚测试仪则是通过测量穿过薄膜后再次反射的光干涉条纹来确定薄膜厚度。这两种方式各有优缺点，可根据具体的测量要求选择合适的膜厚测试仪。此外，膜厚测试仪不仅可以测量薄膜的厚度，还可以测量薄膜的一些其他重要光学参数，如复折射率、吸收系数、表面平整度等。这些参数的测量有助于研究薄膜形成的动力学过程以及外界因素（如温度、压力、电场等）对薄膜形成的影响。总之，膜厚测试仪基于光学干涉原理，通过测量干涉条纹来确定薄膜的厚度，具有高精度和广泛的应用范围。在科研、生产和质量控制等领域中，膜厚测试仪发挥着重要的作用，为薄膜厚度的***测量提供了有效的手段。