分子泵是一种高真空泵，可提供非常低的压力。它的工作原理是利用高速运动的气体分子和表面的碰撞，将气休抽出。
开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
