光谱仪(1)由于 XRF 是靠检测样品所发出的荧光 X 射线来判断测试样品里面的元素含量的，对于已电镀样品，X 射线检测结果多为表层信息，化学分析多为溶样后测定整体，由于基体影响，所以两个结果会有较大差距。 (3) 如果电镀层中引入了有害物质是地，要进行管控采取化学分析的方法会比较可靠。
光谱仪(1) 荧光的照射面积跟测量出来的强度有关系。分辨率与分光晶体、准直器、探测器等 有关系。照射面积可以通过准直器来切换。
光谱仪(1) 不同样品的抽真空时间是不一样的，有的较短，有的较长，如氧化铝样品就需要较长的时间来抽真空，可能和样品表面吸附的水份有关。除了样品外，还应该检查一下系统是否漏气，真空泵的能力是否下降。 (2) 如果是烧结的样品，抽的时间也比较长.表明多孔的结构，比较容易吸附空气或水分.所以抽真空时间长。