真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量，装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复。
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，热氧化差就会使真空泵油氧化变质。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的热氧化稳定性。
真空泵安装在环境清洁、通气良好，光线充足符合要求的室内。根据使用情况泵应安装在有一定宽裕的场地，以便于操作维护。真空泵如靠近精密仪表使用时，应考虑增加防震装置。