光谱仪(1) 用荧光Ｘ射线法算出单位面积的质量（目标元素的附着量：g/m2）非实际质量。不能检出镀层里空隙的存在。用附着量除以目标元素的密度（g/cm3）换算成厚度（mm）。实际镀层密度不同的话，会产生误差。 (2)测厚度可选用无标样的薄膜 FP 法，也可选用标准曲线法，标准曲线法需要样品，其标称值好覆盖产品规格的上下限。 (3)测试厚度主要有两种方法：发射法和吸收法，前者测镀层元素的强度，后者测基体元素的强度。
光谱仪(2) 分辨率是检测器的问题.对于 ESI英飞思 的仪器而言,照射面积增大,效果比较好一点,比如说 可调光斑面积的 X 射线系统,1MM 光斑的测试效果比 5MM 的测试效果差很多。 (3) 照射面积的大小直接影响测试结果的准确性，在所有测试条件不变的情况下，测试面积越大，测试的强度越高，和分辨率没有关系，直接影响分辨率的只有狭缝（准直器）、晶体和探测器。
光谱仪(1)由于 XRF 是靠检测样品所发出的荧光 X 射线来判断测试样品里面的元素含量的，对于已电镀样品，X 射线检测结果多为表层信息，化学分析多为溶样后测定整体，由于基体影响，所以两个结果会有较大差距。 (3) 如果电镀层中引入了有害物质是地，要进行管控采取化学分析的方法会比较可靠。