真空泵温太高，被抽气体温度过高。应让气体冷 却后再进入真空泵内。吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。
对于不同类型的真空泵，如旋片式真空泵或液环真空泵，拆卸步骤可能会有所不同。例如，旋片式真空泵的拆卸可能包括拆卸顶盖、电机转子、后盖等步骤，而液环真空泵的拆卸则可能涉及拆卸轴承、填料压盖、端盖等部件。在拆卸过程中，应遵循特定的顺序，并注意不要损坏任何部件，以确保后续的重新组装和使用的顺利进行。
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。