高纯氮气可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
高纯氮气还可用作深度冷冻剂。作为冷冻剂在医院做除斑,包,豆等的手术时常常也使用,即将斑,包,豆等冻掉,但是容易出现,并不建议使用。
用作回流焊和波峰焊配套的保护气体,提高焊接质量。高纯氮气用作浮法玻璃生产过程中的保护气体,防锡槽氧化。