真空度很好的情况下,Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池
胶圈口Edwards真空分子泵要用多少卡钳,使用才安全? 不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等
Edwards真空分子泵轴承为什么会烧毁 原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘