超高纯氮气可以用于电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
超高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气。用作铜管的光亮退火保护气体。跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机。
超高纯氮气也作为食品保鲜保护气体的用途。在化工行业,氮气主要用作保护气体、置换气体、洗涤气体、安全保障气体。