当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
当Edwards进口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
检查真空表是不是出现了问题，Edwards进口分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。