当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
